本書采用一種獨特的、具有微米納米復合結構的硅納米孔柱陣列為基底，采用化學氣相沉積技術制備出具有微納復合結構的巢狀陣列結構薄膜，然后分別從碳納米管/硅巢狀陣列的生長工藝、浮動催化裂解法制備碳納米管的生長機理、場發射性能優化，電阻型、電容型濕度傳感器性能的改善，表面增強拉曼散射性能幾方面進行了較為深入的研究。本書對這種納米薄膜材料的研究比較系統、性能比較全面、所得結論比較深刻，研究方法及機理分析均對在校研究生起到積極引導和借鑒作用。